တရုတ်က အဆင့်မြင့် chip ထုတ်တဲ့ EUV နည်းပညာ ကြိုးပမ်းနေ
ကမ္ဘာပေါ်မှာ EUV စက်တွေကို ထုတ်နိုင်တာ နယ်သာလန်က ASML ကုမ္ပဏီတစ်ခုပဲ ရှိပါတယ်။
EUV စက်တွေက semiconductor ထုတ်လုပ်ရေးမှာ 7nm အောက် nodes တွေနဲ့ အဆင့်မြင့် chips တွေ ထုတ်ရာမှာ သုံးပါတယ်။ silicon wafers ပေါ်မှာ short-wavelength အလင်းသုံးပြီး circuit patterns တွေ ပုံဖော်တာပါ။
အခုတော့ ASML ရဲ့ သိပ္ပံပညာရှင်အကြီးအကဲဟောင်း တရုတ်ပညာရှင် လင်းနန်က ဦးဆောင်ပြီး တရုတ်ပြည်တွင်းမှာ ကိုယ်ပိုင် EUV စက်ထုတ်နိုင်အောင် ကြိုးပမ်းနေပါတယ်။ လင်းက ၂၀၂၁ မှာ ပြည်တော်ပြန်ပြီး အဆင့်မြင့် photolithography နည်းပညာသုတေသနအဖွဲ့တစ်ခု ထောင်ပါတယ်။
လင်းနန်က တော်တော် ထူးချွန်တဲ့ ပညာရှင်ပါ။ ASML မှာ အလုပ်မဝင်ခင်က ၂၀၂၃ ရူပဗေဒနိုဗယ်ဆုရှင် အန်းန် လူလီယာရဲ့ တပည့်ဖြစ်ခဲ့ပြီး IC ထုတ်လုပ်ရေးဘက်ဆိုင်ရာ lithography အတွက် အလင်းအရင်းအမြစ် light source သုတေသနဘက် ၁၀ နှစ်ကျော် အတွေ့အကြုံ ရှိခဲ့ပါတယ်။
သူ့အဖွဲ့မှာ တရုတ်သိပ္ပံအကယ်ဒမီက Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics က ပညာရှင်တွေ ပါပါတယ်။ အခု ဒီပညာရှင်တွေဟာ Photolithography စက်ရဲ့ အဓိကအစိတ်အပိုင်း ဖြစ်တဲ့ လေဆာထုတ် ပလာစမာ EUV အလင်းအရင်းအမြစ်တစ်မျိုး ထုတ်နိုင်ပြီလို့ ပြောပါတယ်။
တရုတ်လေဆာဂျာနယ်မှာ ထုတ်ခဲ့တဲ့ စာတမ်းထဲမှာ လင်းနဲ့ သူ့အဖွဲ့က Solid-state laser ပေါ် အခြေခံထားတဲ့ ပလက်ဖောင်းကို တည်ဆောက်ထားတာလို့ ရေးထားပါတယ်။ ASML ရဲ့ စက်တွေက CO2 လေဆာက ထုတ်တဲ့ အလင်းကို သုံးတာပါ။
CO2 လေဆာတွေက ပါဝါ ၁၀ ကီလိုဝပ်ကျော် ထွက်ပြီး repetition ကြိမ်နှုန်း ပိုမြင့်ပါတယ်။ ပါဝါပိုမြင့်ပေမယ့် လျှပ်စစ်စွမ်းအင်အရရော ထုတ်လုပ်ရေး operation အရပါ စရိတ်ကြီးတယ်လို့ ဆိုပါတယ်။
Solid-state လေဆာတွေက အရွယ်အစားကျစ်လျစ်ပြီး စွမ်းအင်ထိရောက်မှုလည်း ပိုကောင်းသလို အနာဂါတ်မှာ ပါဝါ ဝပ် ၁၀၀၀၀ အဆင့်ကို ရောက်မယ်လို့ မျှော်လင့်ထားပါတယ်။ တရုတ်ပညာရှင်တွေကတော့ Solid-State လေဆာတွေဟာ CO2 လေဆာနေရာပါ အစားထိုးနိုင်မယ်လို့ စာတမ်းမှာ ရေးထားတာပါ။
ASML ကတော့ CEO ခရစ္စတိုဖီ ဖောကွတ်ကတော့ "EUV Light တချို့ ဖန်တီးတာက ဖြစ်နိုင်ပါတယ်။ EUV စက်တွေ ထုတ်ဖို့ တရုတ်အနေနဲ့ နောက်နှစ်တွေ နှစ်တွေ အများကြီး ကြာပါလိမ့်မယ်" လို့ ပြောပါတယ်။ သူ့စကား မှန်မမှန်ကို စောင့်ကြည့်ရမှာပါ။
အမေရိကန်ကူးသန်းရောင်းဝယ်ရေးအကြံပေးပုဂ္ဂိုလ် နာဇက် နီကတ်တာကတော့ တရုတ်သာ ASML ဆီကလို စက်ယန္တရားမျိုး ဝယ်မယ်ဆိုရင် သုံးနှစ်အတွင်း ပြန်ထုတ်နိုင်မယ်လို့ သတိပေးဖူးပါတယ်။ လောလောဆယ် ASML က အမေရိကန်ရဲ့ ဖိအားကြောင့် ၂၀၁၉ က စပြီး အဆင့်မြင့် EUV models တွေ တရုတ်ကို ရောင်းခွင့်ပိတ်ထားပါတယ်။